研磨装置
- ウエハー端面ブラシ研磨装置 酸化物・化合物・水晶ウエハー用の端面をブラシで研磨するための装置です。
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ウェハーとスペーサーを交互に治具へ枚層するため、多数のウェハーを同時に研磨することが可能
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左右２本のブラシで外周研磨が行えるので研磨時間を短縮
- べべリング・LAP工程後のエッジ研磨に最適
- スライス後のべべリング加工として応用可能
- 10種類の研磨条件を登録可能
- タッチパネルを使用した簡単操作
- ガラスディスク内径端面ブラシ研磨装置 ガラス磁気ディスクの内径端面をブラシで研磨するための装置です。
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- 研磨部を二軸として各軸別々に運転ができるため、省スペースであり効率の良い運転が可能
- ブラシ両軸受け方式により、安定した仕上がり
- タッチパネルを使用した簡単操作
研磨に使用するブラシにつきましてもお気軽にお問合せください。